ULVAC愛發(fā)科熱陰極電離真空計傳感器型

ULVAC愛發(fā)科熱陰極電離真空計傳感器型
這是一個新系列的傳感器類型 “G-TRAN系列復(fù)合電離真空計“，可以實現(xiàn)不同的測量范圍。
作為B-A型電離真空計、可以測量超高真空。
保留了以往的寬幅測壓和低運(yùn)行成本的理念，但進(jìn)行了改進(jìn)，更加人性化。

更新時間：2024-05-30
產(chǎn)品型號：SH200-R
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
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聯(lián)系電話：0755-22220219

產(chǎn)品詳情

ULVAC愛發(fā)科熱陰極電離真空計傳感器型

特點

可連接到不同的測量范圍：復(fù)合電離真空計可以根據(jù)

小型化：與之前的產(chǎn)品相比，實現(xiàn)了尺寸的大幅縮小（控制器體積縮小56%），成為同級別最小的產(chǎn)品之一。

操作性的提高：通過與PC/智能手機(jī)的連接，可以進(jìn)行設(shè)定點設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等。

強(qiáng)大的產(chǎn)品陣容：除模擬輸出規(guī)格（SH200-A）和串行通信規(guī)格（SH200-R）外，還將增加EtherCAT規(guī)格（SH200-E）。

燈絲壽命通知功能：通過監(jiān)測燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。

壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10+5～5×10-8Pa）（選配SWU10-R的情況下）。

可以精確的測量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當(dāng)連接了可選的單元SAU時）。

用途

用于各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的工藝監(jiān)控，包括半導(dǎo)體和電子元件。

用于具有多個處理室的各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的極限壓力測量，例如in-line式和枚葉式

高真空?超高真空設(shè)備的壓力測量

規(guī)格

型號	SH200-A	SH200-R	HT200-E
規(guī)格	標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格	串口通信規(guī)格	EtherCAT規(guī)格
適應(yīng)多離子傳感器	M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)
可以連接的傳感器	多離子傳感器：1本皮拉尼真空計SWU10-R：1本（可選）大其他傳感器SAU：1本（可選）
測量精度（N₂）	SH200本體模式：±2％
取樣時間	60ms
測定値出力	出力電壓 DC 0～10V　LOG出力 0.75V/1桁圧力換算公式　V=7.25+0.75×(LogP-2)　P=10^
更新時間	60msec
控制輸入信號	FIL ON/OFF, FIL　1/2, DEGAS ON/OFF 打開集電極動作、負(fù)邏輯 * FIL ON/OFF信號使用方式因模式而異	-	-
制御出力信號	傳感器錯誤，設(shè)定點1/2/3, 有效排放,燈絲電力監(jiān)控定格：24V_MAX、50mA_MAX、飽和電圧1V	-	-
串行通信規(guī)格	-	RS232C/RS-485	EtherCAT
LED顯示	POWER/ERROR：電源、LED ERROR (閃爍狀態(tài)根據(jù)各種模式變化)
發(fā)射電流	1mA (1×10^-3Pa以下), 10μA (1×10^-3Pa以上)
DEGAS	電子轟擊脫離方法（電子轟擊）1mA、330V
測量部耐圧性	2×10⁺⁵Pa （絕對壓力） * 需要單獨考慮法蘭和夾具等的耐壓性
傳感器內(nèi)部容量	17cm³(M-44), 19cm³(M-45), 17cm³(M-46)
使用溫度范圍	10～50℃
使用濕度范圍	15～80%(不結(jié)露)
保管溫度	-20～65℃(非通電時、不結(jié)露)
IP保護(hù)等級	IP30
電源電壓	DC20～28V (波紋，噪音1%以下)　 8W以下
輸入/輸出連接器	D-sub15銷（M2.6螺絲）
重量	調(diào)節(jié)器：約280g　測定子(M-44, M-45)：80g, (M-46): 300g
外形尺寸 W×D×H	69mm×63mm×90mm (控制器部分)
適合規(guī)格	CE